案例一

某半導體工廠產出之廢磷酸,濃度低、含重金屬、雙氧水,需移除並將濃度提高至60 %以上,始具回收效益。(原採化混處理,產生大量不具回收效益之磷酸鈣污泥)
評估廢磷酸移除雙氧水、重金屬與提濃至60 wt%以上之方法,並完成工程規劃設計。
左圖為半導體業低濃度磷酸廢液,含磷酸濃度~ 3 %,含重金屬~ 400 mg/L, 數十 mg/L 雙氧水。
將雙氧水去除後,以納濾膜+樹脂移除重金屬離子,再經RO與節能蒸發系統,將磷酸濃度提濃至60 %以上得回收磷酸。提供基本流程規劃設計(含熱蒸發單元計算)。



